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今年以来，光刻机国产化不断提速。人民财讯11月26日报道，11月25日，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）再传捷报，公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。

华西证券此前研报指出，光刻机设备或实现一定突破，国产化有望加速。A股光刻机产业链包括旭光电子、张江高科、茂莱光学、福光股份、福晶科技、汇成真空等。

部分个股成长性值得期待。根据机构一致预测，蓝特光学、聚光科技、茂莱光学等个股2026年、2027年净利增速均超20%。其中，聚光科技、茂莱光学、华辰装备等机构一致预测明后两年净利增速均超30%。